無塵室施工要明確使用需求，制定施工標準，進行無塵室施工規劃，一般無塵室施工規劃包含建筑規劃與工藝規劃，無塵室施工規劃是一項專業性非常高的技術工作，不僅需要具備建筑知識還要了解無塵室的使用要求，無塵室施工總體規劃內容繁多，包含但不僅限于電力、通風、空氣凈化、設備安裝，建筑施工等內容。

在無塵室施工規劃當中，首先要具有完整的設計規劃圖。設計規劃圖包含平面規劃圖、家具布置圖、擺放示意圖、裝修設計圖、排水設計圖、暖通設計圖、系統設計圖、電氣設計圖、自動控制設計圖等。

除了要有完整的設計規劃圖之外，無塵室施工規劃還有很多設計內容，例如要有無塵室施工的基礎設計，包含基礎定位、規劃設計、功能區域布局設計、流程設計、配電設計、暖通設計、上下水設計、氣路設計、通風設計、裝修設計、照明設計、空調設計、土建設計以及其他設計。

無塵室施工規劃除了要有上述內容之外，還要有人工設計，包含消防、環保、節能、人文、職業、健康以及其他安全設施。無塵室施工優化設計與前瞻性設計也是無塵室施工規劃中很重要的一部分內容，對流程優化、環境條件監控優化，無塵室施工管理優化要進行遠期規劃與靈活性考慮。